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掌握要点合理使用智能控温烘箱

发布时间:2020-06-22   点击次数:120次
  智能控温烘箱是专业针对光刻工艺中hmds预处理的设备,被广泛的应用于半导体生产加工等方面使用,可见烘箱温度控制的重要性,要掌控温度必然需要精密的温度传感器,以确保温度准确有效控制。因此温度的控制自然成了工业烤箱、烘箱、高温烘箱的基本技术,为保证温度控制的准确性及故障信息反映的及时性,烘箱内必须具有精密的温度传感器测试系统。
 
  智能控温烘箱的安全操作规程:
 
  1、烘箱要按照铭牌上所规定的温度范围使用,烘箱必须保持接地良好。
 
  2、烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉纱、布屑等易燃物品,不得在电烘箱旁进行洗涤、刮漆和喷漆等工作。
 
  3、要防止其他物件落入烘箱底部与电阻丝接触造成短路。
 
  4、打开电烘箱前,必须先断电。加温过程中操作者不得离开。
 
  5、不得在电烘箱内存放物品,如工具,器材零件及油料挥发物。
 
  6、经过汽油、煤油、酒精、香蕉水易燃液洗涤过的零件及喷漆过的物品,应在室温下放置15到30分钟,待绝大部分易燃液体挥发后,才能放入HMDS烘箱内烘烤,室内应注意通风。
 
  7、烘箱在工作时不得进行清洁工作,更不得用汽油擦拭。
 
  8、非金属物品放入电烘箱内加温,一定要按照工艺规程进行。
 
  9、使用前要检查自控装置,指示信号是否灵敏有效,电气线路绝缘是否完好可靠。

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